Publicação

Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo

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Detalhes bibliográficos
Resumo:Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior - CAPES
Autores principais:Santos, Júlio César Valeriano dos
Assunto:Filmes finos Solução sólida ZrN Si3N4 Magnetron sputtering Magnetron sputtering reativo Thin films Solid solution Reactive magnetron sputtering ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA
Ano:2023
País:Brasil
Tipo de documento:dissertação de mestrado
Tipo de acesso:acesso aberto
Instituição associada:IBICT
Idioma:português
Origem:Oasisbr
Descrição
Resumo:Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior - CAPES

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